スーパードライの更なる進歩|スーパードライ

TOYO LIVING
スーパードライ

全自動超低湿庫《スーパードライ》の更なる進歩

湿度0%RHの安定保持と長期間のランニングコストの大幅削減を実現し、
半導体・LED・電子部品などの品質・生産性向上に貢献

第1号機 開発以来の技術を結集

 半導体回路の微細化やクリーンテクノロジーに不可欠な環境条件として、低湿度管理が注目され、
そのニーズが高まりつつあります。
 医療やバイオなどの最先端分野と共に食品加工や製薬でも安全・良質な製品づくりにクリーンと
低湿度条件は不可欠といえます。
 半導体分野に続き、リチウムイオン電池やその材料向けにもクリーンと低湿環境が求められています。たとえば、LED の黄色蛍光体は水分の影響を受けやすく、また、赤色蛍光体(青色LEDの重要な
蛍光体の一つ)は空気中の水分と反応して劣化してしまいます。また、一般・半導体部品では、ウエハをはじめ水洗浄が行われ、その後の乾燥工程にも加熱・熱風乾燥が行われています。しかし、これらの処理に『低湿空気環境』を加えることによって、より効率化(=時間と脱湿効果)を図ることができます。これら低湿度環境は、工業用クリーンルームのほか、今後発展が期待される有機ELや光学レンズ
及び薬品製造でも必要とされるものであります。
 当社では、このような先端技術による高度なクリーン・低湿度環境に対応するために、防湿庫の第1号機を開発して以来42年の技術を結集して新たな除湿方式を開発し、これを採用したことで庫内(相対)湿度を0%RHに安定して保つ『《スーパードライ》 ウルトラシリーズ』を製品化しました。
その大きな特徴は以下の通りです。

@最低到達湿度:0%RH
A長期間安定して、庫内湿度1%RH以下を連続保持(無負荷・常温・湿度60%RHの環境条件にて) 
B省エネ設計:他社同等機種に比べ、約1/3の電気代 
C扉の開閉・負荷時に特に能力を発揮


 『《スーパードライ》スタンダードシリーズ』では、最低到達湿度0〜1%RHに安定して保ちます。
 庫内低湿度性能はもちろん、消費電力を抑える独自の省エネ設計を採用しているため、耐久性能平均期間で使用した場合、年間消費電力料金を大幅に低減できます。このため、一事業所で2〜3台から10台以上もの複数台使用する場合は、さらに大きな経費節減となることから、使用電力量の軽減によって社会的にも大きく貢献できると考えております。
 そして、この機能を基本として、フィーダー保管庫を開発しました。フィーダーのまま収納可能な
SDF-1502-0A』は、フィーダを固定する専用棚板が手前から奥にスライドするので、フィーダの取り付け・取り外し時間の大幅な短縮に貢献する機種となっています。 
 また最近のクリーン対応としては、工程中に最適な『《スーパードライ》HEPAシリーズ』(HEPA フィルター付き)や長期・庫内浮遊気体中の有機化合物を水や炭酸ガスに分解し、さらに強力低湿電子ユニットで吸着し、最低到達湿度0〜1%RHに保持する光触媒機種を開発。この特性は、光学レンズのクリーン化をはじめマイクロフィルムの酢酸臭除去にも有効です。
 
 《スーパードライ》は、従来の半導体・LED 以外に

●太陽光パネルを複数枚収納できる大型低湿乾燥庫 
●リチウムイオン電池の低湿乾燥 
●食品・薬品の乾燥保持、露付防止


などに実績があります。
 また、高い性能(低湿安定保持と省エネ)を基本として大幅な年間使用コストの低減が期待できることに加えて、加熱及び熱風乾燥(ベーキング)をする場合は、中温度60 ℃かつ1%RHの『M-Tempシリーズ』機種を利用すれば半導体・各種電子部品などの脱湿効果が高く、遠心分離器に比べて、すばやく、かつ、品質上ストレスを与えずに乾燥効果を効率よく行うことができます。
 また、製造設備の改善として局所クリーン・低湿を行う場合には、機械装置ごとの局所環境対策も可能です。効果としては設備費・省エネと低湿効果の効率化を達成することができます。
 さらに、温度を20 〜30℃の中間帯に保ちながら低湿を行う、電池材料などの高品質保管が可能な低温・低湿(保管庫)装置である『《クール&スーパードライ》 SDC-1502-1A』も新開発しました。
 リチウムイオン電池用紛体材料やLED、IC などの半導体部品をはじめ、食品、医薬品などの製造工程中の温度・湿度管理やそれら製造製品の低温・低湿度保管に最適な装置で、従来の装置の除湿ユニットと制御方式の改良により、大幅に性能アップした《スーパードライ》に新低温機能が付加された最新鋭の低温・超低湿度装置となっています。
 この低温・低湿保管技術は、高付加価値材料・製品(特に粉体材料)の品質保持技術として注目されています。従来のエレクトロニクス材料や部品から医薬・食品はもちろん、最近では、電池材料(粉体)や特殊なセメント材料などの低温・低湿保管の利用も検討されています。
 また、電子ユニット内に光触媒を採用したところにより、空気中の浮遊微細不純物を分解し、かびなどの微生物にも対応した製品が好調であることからも、これからの市場の広がりが予測されます。
さらに、今後ますます高付加価値化していくサブミクロン、ナノオーダーの粉体材料などの品質劣化を防ぐ保管技術も必要となってきます。
 以上、主として大型(1100 ℓ級)《スーパードライ》(超低湿庫)について説明してきましたが、中型機種(内容積150ℓ〜 700ℓ)も充実しており、最低到達湿度0〜1%RH保持の実現と省エネ設計の採用など、時代のニーズにこたえる製品となっています。
 小型機種については、当社が昭和50年に防湿庫を開発して以来、庫内容積25ℓ〜 240ℓと充実しており、キャビネットカラーも従来のブラックからホワイトを揃え、研究室、実験室に最適なデザイン構成で、ハンドル一体成形扉を採用するなど、高品質・高性能・省エネで貢献できるものと考えています。

Q&A

以下に、《スーパードライ》についてさらにご理解いただくために、Q & A を記しました。
参考にしていただければ幸いです。

質問 ウエハ、半導体の脱湿処理のベーキング温度をあまり上げないで、短時間脱湿できませんか?
回答 短時間脱湿に最適な新機種としては『M−Tempシリーズ』(中温度60 ℃、超低湿1 %)があります。
この機種は、半導体の脱湿を目的に開発しており、その特徴は、ウエハの洗浄後の遠心式、N2ガスブローの乾燥方式に比べ、乾燥時間1/2 で、脱湿効果は2倍以上(脱湿重量1/2 以下)を確認していますので、生産性向上と品質向上を同時に達成できる製品となっています。
質問 半導体工程中の利用で、収納品の出し入れを含め、扉の開閉が多い場合に適する《スーパードライ》製品はどれですか?
回答 おすすめしたいのは、『《スーパードライ》ウルトラシリーズ』です。
同機種は、通常、扉閉時は庫内湿度0%を保持し続けますが、扉開閉を数回繰り返しても、庫内湿度はきわめて短時間(数分間)約5 %程度の上昇(平均値)に留まります。
一般的には、短時間の庫内湿度5%程度の上昇であれば、収納製品の品質に影響しないと思われます。
このウルトラシリーズ機種の大きな特徴は、スタンダードシリーズ(1 %機種)の2 倍の除湿能力を備えている点で、万全な超低湿度保管に最適な製品となっています。
質問 通常クリーンルームとほぼ同程度を希望しますが、どの機種がよいですか?
回答 局所的ミニクリーンとしては、『HEPAシリーズ』が最適です。
HEPAフィルタによる強力ファンにより、速やかに庫内を空気清浄度100クラス以下に保つ製品です(安定時10 クラス)。
質問 フィーダ保管庫(取付対応)は可能ですか?
回答 各社仕様のフィーダ保管庫を受注生産で対応しています。
質問 薬品・食品の工程中及び、完成品の保管として、温度約20 〜25℃、湿度5 〜15%などに調整可能ですか?
回答 低温度・低湿度対応の『クール&スーパードライ』が温度20〜 30℃、湿度1〜30%RHの範囲で調整可能です。寸法、容量、庫内の温度・湿度をご指定いたければ、見積り・受注生産可能です。
質問 保管条件に適した機種を選びたいが何か最適ですか?
回答 温度と湿度のご希望条件に応じた湿度別 最適な製品の選び方の表をご用意しておりますので、保管品に適した機種選定のご参考にしてください。

主な納入先

今日までに世界51ヶ国、3,000社超のエレクトロニクス系企業で東洋リビングの全自動超低湿保管庫《スーパードライ》が活躍し、年々薄型化小型化するICデバイスの吸湿対策で多大な成果を上げています。1984年に国内実装工場から庫内を超低湿化するスーパードライ試作機開発を要請され、世界で最初に発明(実用新案申請、取得)以来、常に最高水準の安全性・性能・利便性を目標に改良を重ねています。元祖パイオニアならではの、圧倒的に高い信頼性と省エネ性、海外企業の厳格な基準を満たしてきた性能安定性は他の追随を許しません。世界一の実績数、経験年数に基づく高い信頼性ゆえ、トラブルが許されない現場でも安心してご利用いただけます。

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